白光共聚焦Zeta-20 在微流控芯片領域的應用案例

優尼康科技有限公司

2022.7.22

白光共聚焦輪廓儀 

Zeta-20 在微流控芯片領域

的應用案例

優尼康科技有限公司

目錄

01	什么是微流控芯片(microfluidic chips)？
02	微流控的發展歷程
03	微流控芯片應用領域及特點
04	微流控芯片種類
05	微結構的形成
06	微流控系統的組成
07	行業內知名企業
08	Zeta-20在微流控芯片的測試數據

01

  什么是微流控芯片(microfluidic chips)？ 

微流控芯片技術(Microfluidics)，又稱微流控芯片實驗室(lab-on-a-chip)或微全分析系統(micro total analytical system, μTAS) ，是把生物、化學、醫學分析過程的樣品制備、反應、分離、檢測等基本操作單元集成到一塊微米尺度的芯片上， 自動完成分析全過程。

02

  微流控的發展歷程   

1959

美國諾貝爾物理學獎得主Richard Feynman教授使用半導體材料將實驗用的機械系統微型化，從而造就了世界上首個微型電子機械系統（Micro-electro-mechanical Systems，MEMS），這成為了未來微流控技術問世的基石。

1990

瑞士Ciba-Geigy公司的Manz與Widmer應用MEMS技術在一塊微型芯片上實現了此前一直需要在毛細管內才能完成的電泳分離，首次提出了微全分析系統（Micro-Total Analytical System，ì-TAS）即我們現在熟知的微流控芯片。

1994

世界首屆國際微全分析系統學術會議在荷蘭Enschede舉行，微流控芯片全面進入大眾視野。

1995

全球首家專門從事微流控芯片技術的公司—Caliper Life Sciences在美國馬薩諸塞州成立。

1990

世界首臺微流控芯片商品化儀器-毛細管電泳微芯片由安捷倫公司和Galiper公司聯合推出，被應用于生物分析和臨床分析領域。

03

 微流控芯片應用領域及特點 

微流控芯片系統涉及領域極其廣泛，包括疾病檢測、生化分析、蛋白質檢測、藥物篩選、毒品檢測、商品檢驗、環境監測、刑事科學、軍事科學及航天科學等，覆蓋人們生活的方方面面。

生物學領域

化學領域

分析化學領域

微流控特點

縮短分析時間

減少樣品和試劑消耗

提高實驗自動化程度

高分辨率和高靈敏度

集成化、微型化、便攜化

04

  微流控芯片種類  

?      硅制微流控芯片

?      玻璃微流控芯片

?      聚合物微流控芯片（PDMS PMMA PC等）

?      紙質微流控芯片

?      其他

硅制微流控芯片

優點缺點導熱性好硬度高，加工難度大表面穩定難以制作成閥和泵等微流控部件耐有機溶劑本身不透明，難以應用在在光學實驗中易在金屬表面沉積硅的價格相對昂貴

玻璃微流控芯片

優點缺點優秀的光學透明度不透氣性較差，不能用于長期的細胞培養優異的耐高壓性玻璃硬度較高，加工鍵合難度大生物相容性_化學惰性不透氣性較差，不能用于長期的細胞培養允許高效涂層_

聚合物微流控芯片

優點缺點光學透明疏水性彈性有一定的彈性，內部通道在高壓下會發生改變，很容易出現漏液情況無毒；穩定性_成本低_生物相容性好_

05

  微結構的形成  

一：	經典的光刻技術
適合硅、玻璃、石英等材料，與傳統的半導體工業的方法一致。 分為濕法和干法兩種，干法的分辨率較濕法高，相應的制造成本也高。

二：	模版澆注法（模塑法）

三：	激光刻蝕法
用激光直接在聚合物或玻璃上加熱形成微結構

06

  微流控系統的組成 

07

  行業內知名企業 

 

08

  Zeta-20測試微流控芯片的種類數據與配置

使用設備

KLA Zeta-20 白光共聚焦輪廓儀Zeta-20提供多種光學測試技術滿足用戶各種領域測試需求■  ZDot? Z 點陣專利三維成像技術是Zeta所有系列產品的標配技術，Z點陣獨特的明暗場照明方案結合不同物鏡幫助客戶測量最“困難”的表面?！?nbsp; ZIC 干涉反襯成像技術，實現納米級粗糙度表面的成像及分析?！?nbsp; ZSI 白光差分干涉技術，垂直方向分辨率可達埃級?！?nbsp; ZI 白光干涉技術，大視場下納米級高度的理想測量技術。  ■  ZFT 反射光譜膜厚分析技術，集成寬頻反射光譜分析儀，可測量ULA+ 2et-20薄膜材料的厚度、折射率和反射率。

單層流道深度測量（有蓋板）

層流道深度測量（有蓋板） -流道底部有紋路

微孔深度測量及多孔平整度測量（無蓋板）

本文作者

	胡樹棟 華東區銷售經理 薄膜測量行業從業十多年，對于薄膜量測的方案解決有著豐富的經驗。讓微流控芯片行業中需要量測流道形貌及深度這類原本比較棘手的問題得到了完美的解決。
長風破浪會有時，直掛云帆濟滄海。

我們深耕薄膜測量行業十多年，不論您在薄膜測量方面有什么問題，我們的技術專家都可以為您提供有價值的建議或解決方案。歡迎來電，我們很高興與您討論您的應用問題。

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